石墨熱場(chǎng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
1.石墨制品半導(dǎo)體應(yīng)用市場(chǎng)概述
直拉單晶爐用石墨零件是一種易耗件,,由各種高純石墨加工而成,。如石墨坩堝等石墨部件使用高純度細(xì)顆粒石墨;石墨加熱器采用高純各向同性石墨,;石墨絕緣罩和石墨蓋板由高純度,、中等顆粒結(jié)構(gòu)的石墨制成,。
多晶硅熱場(chǎng)加熱器
前面提到的半導(dǎo)體和光伏行業(yè)使用的兩種石墨制品在幾年前主要是從國(guó)外進(jìn)口(或由mainland China外資企業(yè)提供)。但由于中國(guó)石墨行業(yè),、半導(dǎo)體材料行業(yè)和電子工業(yè)設(shè)備行業(yè)的共同努力,,中國(guó)生產(chǎn)的這兩類石墨配件在制造技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)方面都有了很大的進(jìn)步,市場(chǎng)格局也發(fā)生了很大的變化,。這也為中國(guó)石墨行業(yè)在這方面開(kāi)拓新的市場(chǎng)提供了新的機(jī)遇,。但同時(shí)也需要看到,在我國(guó)大型高純各向同性石墨市場(chǎng)快速增長(zhǎng)的同時(shí),,我們的制造技術(shù)還存在一些不適應(yīng)的方面,,我們的技術(shù)與國(guó)外先進(jìn)國(guó)家還有較大差距,。石墨制品作為微電子和光伏產(chǎn)業(yè)重要的基礎(chǔ)裝備材料,需要我國(guó)持續(xù)的技術(shù)進(jìn)步,。當(dāng)務(wù)之急是加強(qiáng)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和硅材料制造業(yè)對(duì)光伏電池的合作,,進(jìn)一步投資發(fā)展其配套的高檔石墨制品。
1.1應(yīng)用市場(chǎng)的發(fā)展和擴(kuò)張過(guò)程
半導(dǎo)體的發(fā)展離不開(kāi)石墨材料在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,,高純石墨材料廣泛應(yīng)用于直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)中。也用作半導(dǎo)體硅片加工(包括區(qū)熔,、外延,、形狀加工等)中的輔助工具和部件。);是半導(dǎo)體硅片多晶硅材料生產(chǎn)中的輔助工具和部件,。電子工程的石墨制品首先應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),。進(jìn)入21世紀(jì),光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,,太陽(yáng)能電池用多晶硅錠材料的產(chǎn)量和市場(chǎng)都有了突飛猛進(jìn)的增長(zhǎng),,這也為光伏產(chǎn)業(yè)中的石墨制品提供了具有廣闊發(fā)展前景的新市場(chǎng)。多晶硅錠是太陽(yáng)能電池硅片的重要原料,,已廣泛應(yīng)用于其生產(chǎn)設(shè)備鑄錠爐中,。
1.2石墨制品太陽(yáng)能電池應(yīng)用市場(chǎng)概述
在生產(chǎn)多晶硅錠設(shè)備上,許多部件需要石墨材料,。特別是鑄錠爐加熱器所用的加熱材料——高純石墨,,以及所用的隔熱材料——高純碳?xì)指魺岵牧希际悄壳拌T錠多晶硅設(shè)備重要且必不可少的配套材料,。
由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上),,要求其加熱材料不與硅材料發(fā)生反應(yīng),不對(duì)硅材料造成污染,,因此可長(zhǎng)期在真空和惰性氣氛中使用,。合適的加熱器是鎢、鉬和非金屬石墨,。鎢和鉬價(jià)格昂貴且難以加工,,而石墨來(lái)源廣泛,可以加工成各種形狀,。此外,,石墨具有熱慣性小、升溫快,、耐高溫,、抗熱震性好、輻射面積大、加熱效率高,、基本性能穩(wěn)定等特點(diǎn),。正因?yàn)槿绱耍牧弦呀?jīng)成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料,。鑄錠爐的加熱器對(duì)隔熱材料有嚴(yán)格的要求。必須是耐高溫,、密度低,、導(dǎo)熱系數(shù)低、儲(chǔ)熱少,、保溫效果好,、氣體釋放少、重量輕,、膨脹系數(shù)小的材料,。因此,在眾多耐火保溫材料中,,高純碳?xì)质亲罾硐氲摹?br>

