隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，許多單晶硅制造商都精于石墨熱場的應(yīng)用,，原因有二:

  該領(lǐng)域的組成部分,，如加熱器,，三瓣坩堝，石墨支架和熱屏蔽,，是由石墨,。在生產(chǎn)過程中，經(jīng)常會(huì)遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象,。那么石墨設(shè)備損壞的原因有哪些呢,？應(yīng)該選擇什么方法來延長石墨設(shè)備的壽命？石墨設(shè)備的損壞主要是人為和變質(zhì)造成的,。只要加強(qiáng)管理,，強(qiáng)化員工的防范意識，就可以把損失降到低點(diǎn),。這里主要討論的是退化,。我們先來了解一下石墨的相關(guān)特性，

1.耐高溫。石墨熔點(diǎn)高,，真空下3850度,，低壓下2200度。與一般材料不同的是,，當(dāng)溫度升高時(shí),，石墨不僅沒有軟化，反而強(qiáng)度增加,，2500度時(shí)抗拉強(qiáng)度翻倍

2.特殊抗熱震性,。石墨的熱膨脹是各向異性的，所以微膨脹系數(shù)不大,。在溫度突變的情況下,，石墨的體積變化不大。再加上其優(yōu)異的導(dǎo)熱功能,，石墨的抗熱震性非常優(yōu)異,。如上所述，石墨部件應(yīng)該能夠在高溫下長時(shí)間穩(wěn)定工作,。

   一般情況下,，花瓣坩堝與保溫罩、加熱器等其他石墨設(shè)備相比,，材質(zhì)相同,，生產(chǎn)廠家相同，工作環(huán)境相同,。為什么使用壽命比保溫罩和取暖器短很多,？三瓣坩堝開裂的主要原因來自應(yīng)時(shí)坩堝。1.由于熔融硅的密度高于固體硅的密度,，在冷卻過程中,，坩堝的底部材料會(huì)使應(yīng)時(shí)坩堝破裂，而應(yīng)時(shí)坩堝則附著在三瓣坩堝上,。當(dāng)應(yīng)時(shí)坩堝劈裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三瓣坩堝受到的應(yīng)力時(shí),，三瓣坩堝就會(huì)開裂，這也是坩堝多余的底部材料會(huì)使三瓣坩堝破裂的原因,。2.如果加熱時(shí)間過長,，應(yīng)時(shí)坩堝質(zhì)量不夠，原料pH值不符合要求,，都會(huì)導(dǎo)致漏硅,、滲硅。熔融硅進(jìn)入三瓣坩堝之間的縫隙冷卻下來后,，會(huì)損壞三瓣坩堝,，二是使三瓣坩堝相互粘連,，在清爐時(shí)可能分別導(dǎo)致開裂。3.在加熱過程中,，只有三瓣坩堝的熱源來自兩個(gè)方面,，一是加熱器的輻射，二是來自應(yīng)時(shí)坩堝的傳導(dǎo),，導(dǎo)致三瓣坩堝受熱不均勻,，受熱時(shí)在某些方向膨脹，在另一些方向收縮,，進(jìn)而導(dǎo)致三瓣坩堝開裂,。

正面和石墨氈保溫效果好，厚度達(dá)到100mm,，有效保證了徑向梯度溫度可能較小的情況,。

二、熱量長的原因是石墨坩堝厚度達(dá)到250mm,，可以扎樣品,，所以上中下保溫筒的口徑會(huì)足夠大，有足夠的縱向散熱功能,。眾所周知,，石墨坩堝操作方法存在的問題會(huì)導(dǎo)致石墨坩堝操作時(shí)間的減少，進(jìn)而增加生產(chǎn)廠家自身的資本,。有了制造石墨坩堝和熱場工件的歷史,，再來說說石墨熱場生產(chǎn)中常見的問題，以及我們應(yīng)該如何處理,。