單晶爐石墨熱場的設(shè)計行業(yè)標準是什么,?
2022年10月31日
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石墨熱場
石墨熱場的設(shè)計、制造和特性應(yīng)用
由于等靜壓石墨熱場材料本身的多孔性和滲透性,不需要在絕熱材料層之間保留額外的空間,。石墨具有優(yōu)異的隔熱性能,,其成本通常低于金屬屏,,并且非常易于使用,。在制造成本、耐久性和可維護性方面,,石墨絕緣軟氈比石墨絕緣硬氈具有一定的優(yōu)勢,。通過生產(chǎn)實踐,金屬隔熱罩往往不適合環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝,。
石墨熱場廠家使用石墨材料制作石墨熱場的保溫部件,。實踐證明,雖然在釬焊過程中會有大量焊料沉積在石墨隔熱材料表面,,但熔化的焊料與石墨隔熱材料之間不會發(fā)生熔合,。雖然有人可能會懷疑石墨材料比金屬材料更容易吸水,水對釬焊過程有害,,但實踐證明,熱場的反復加熱和冷卻可以有效地消除石墨絕熱材料中的水,。
直拉單晶爐的熱系統(tǒng),,也就是所謂的熱場,石墨熱場系統(tǒng)的作用是指在一定溫度下熔化硅并保持單晶生長的整個系統(tǒng),。
石墨熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán),、保溫蓋,、上、中,、下保溫蓋,、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿,、坩堝托盤,、電極、加熱器,、導流管,、石墨螺栓。為了防止漏硅,,爐底,、金屬電極和支撐桿都有保護板和保護套。
單晶爐石墨熱場簡單來說就是用來提拉單晶硅的一整套石墨加熱系統(tǒng),。18英寸,、22英寸和24英寸的石墨熱場很常見。石墨熱場行業(yè)標準的一個流行設(shè)計方案是用石墨材料制作熱場保溫部件,。標準的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成,,在靠近熱場中心的內(nèi)表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復合片,以提高熱反射率,,防止高壓氣流的侵蝕,。
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