石墨制品在半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的怎么樣?
1.石墨制品太陽能電池應(yīng)用市場概述
在生產(chǎn)多晶硅錠的設(shè)備中,,許多部件是石墨材料,。特別是高純石墨、鑄錠爐加熱器所用的加熱材料以及所用的高純碳?xì)纸^緣材料,,是目前多晶硅鑄錠設(shè)備不可缺少的重要支撐材料,。
2.石墨制品半導(dǎo)體應(yīng)用市場概述
直拉單晶爐用石墨零件是一種易耗件,由各種高純石墨制成,。如石墨坩堝等石墨部件采用高純細(xì)晶石墨,;石墨加熱器采用高純各向同性石墨;隔熱罩和石墨罩采用高純度中顆粒結(jié)構(gòu)的石墨,。
由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上),,要求其加熱材料不能與硅材料發(fā)生反應(yīng)和污染硅材料,因此可以在真空和惰性氣氛下長期使用,。滿足使用條件的加熱器有鎢,、鉬、非金屬石墨等,。鎢和鉬價(jià)格昂貴,,加工困難,而石墨來源廣泛,,可以加工成各種形狀,。此外,石墨具有熱慣性小,、升溫快,、耐高溫、抗熱震性好,、輻射面積大,、加熱效率高、基本性能穩(wěn)定等特點(diǎn),。正因?yàn)槿绱?,石墨已?jīng)成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料。鑄錠爐加熱器對(duì)隔熱材料有嚴(yán)格的要求,。必須是耐高溫,、低密度、低導(dǎo)熱,、低蓄熱,、隔熱效果好,、低氣體釋放、重量輕,、低膨脹系數(shù)的材料,。因此,在眾多耐火隔熱材料中,,高純碳?xì)质亲罾硐氲摹?nbsp;
3.應(yīng)用市場發(fā)展和擴(kuò)大的過程
半導(dǎo)體的發(fā)展離不開石墨材料在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用。在半導(dǎo)體工業(yè)中,,高純石墨材料廣泛應(yīng)用于直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)中,。也用作半導(dǎo)體硅片加工(包括區(qū)熔、外延,、輪廓加工等)中的輔助工具和部件,。);是半導(dǎo)體硅片多晶硅材料生產(chǎn)中的輔助工具和部件。電子工程用石墨制品,,首先是實(shí)現(xiàn)其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用,。進(jìn)入21世紀(jì),光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,,太陽能電池用多晶硅錠材料的產(chǎn)量和市場都有了突飛猛進(jìn)的增長,,這也為石墨制品在光伏產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供了具有廣闊發(fā)展前景的新市場。太陽能電池硅片的重要原料多晶硅錠開始在其生產(chǎn)設(shè)備鑄錠爐中大量使用高純優(yōu)質(zhì)石墨材料,。

