1. 一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,，包括上加壓柱,、模具套筒及模具底座,，其特征在 于:還設(shè)有外鑲嵌片和內(nèi)鑲嵌片,，外鑲嵌片位于模具套筒內(nèi),，緊貼模具套筒內(nèi)壁,，內(nèi)鑲嵌片 位于外鑲嵌片內(nèi)且緊貼外鑲嵌片內(nèi)壁,，內(nèi)鑲嵌片底端高度大于外鑲嵌片底端高度,，模具底 座頂端呈臺階狀,，且頂端凸起尺寸與外鑲嵌片內(nèi)壁尺寸配合伸入到外鑲嵌片內(nèi)壁中,，內(nèi)鑲 嵌片底端置于頂端凸起上，模具套筒的底端和外鑲嵌片的底端位于模具底座頂端臺階上,。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,，其特征在于:所述的外鑲嵌 片和內(nèi)鑲嵌片都是由兩個半圓片組成。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,，其特征在于:所述的上加壓 柱頂端與模賊座底端具有相同的形狀和尺寸,，與熱壓燒結(jié)爐內(nèi)部加壓柱尺寸相匹配。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,，其特征在于:所述的上加壓 柱的下部麵為隱,、方形、三娜或其傾要的試娜狀;上加雖伸人_嵌片內(nèi),，與 內(nèi)鑲嵌片的型腔的形狀,、尺寸匹配。
5. 如權(quán)利要求1 所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具 ,， 其特征在于:所述的上加壓 柱的下部  相匹配,。

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