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捷誠(chéng)石墨
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眾所周知,,石墨坩堝使用說(shuō)明書(shū)中的缺陷會(huì)減少石墨坩堝的使用時(shí)間,,進(jìn)而增加生產(chǎn)廠(chǎng)家自身的成本。今天大家就實(shí)際談?wù)劯呒兪珶釄?chǎng)制造中的難題,,以及人們應(yīng)該如何解決,。
隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的趨勢(shì),許多單晶硅制造商都精于高純石墨熱領(lǐng)域的應(yīng)用,。原因有二:*高純石墨氈便于保溫使用,厚度超過(guò)100mm,,合理保證了軸向系數(shù)溫度會(huì)小的標(biāo)準(zhǔn),。其次,由于熱量接近,,石墨坩堝的厚度可以超過(guò)250mm,,上下捆綁樣品的保溫桶規(guī)格會(huì)足夠大,,有足夠的垂直熱管散熱。
電熱器,、三瓣坩堝,、高純石墨托和隔熱罩等熱場(chǎng)的組成都是由石墨制成的。在加工過(guò)程中,,發(fā)熱元件經(jīng)常損壞,。那么高純石墨中元器件損壞的原因是什么,應(yīng)該采取什么對(duì)策來(lái)延長(zhǎng)高純石墨中元器件的使用壽命呢,?
高純石墨中成分的破壞主要是人為和變質(zhì)造成的,。在人的因素層面,如果改進(jìn)管理方法,,加強(qiáng)員工的安全意識(shí),,就可以把傷害降到最低。這里是討論變質(zhì)的關(guān)鍵,。*祖先們掌握了高純度石墨的相關(guān)特性,。
1.耐熱性,高純石墨的熔點(diǎn)極高,,在真空泵里是3850度,,底壓上升,上升溫度是2200度,。與普通原料不同,,當(dāng)溫度升高時(shí),高純石墨不僅不軟化,,其抗壓強(qiáng)度反而增加,。在2500度時(shí),高純度石墨的抗壓強(qiáng)度加倍,。
2.獨(dú)特的抗熱震性,。高純石墨有各種熱變形,所以宏觀(guān)熱膨脹系數(shù)不大,。在溫度劇烈變化的情況下,,高純石墨的體積變化不大。加上其優(yōu)異的傳熱性能,,高純石墨具有優(yōu)異的抗熱震性,。
最重要的是,高純石墨應(yīng)能在高溫下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作,。
總的來(lái)說(shuō),,花瓣坩堝相對(duì)于其他高純石墨部件,如保溫罩,、電熱器等,,都是由相同的原料,、相同的廠(chǎng)家、相同的辦公環(huán)境制成的,。為什么使用壽命 遠(yuǎn)遠(yuǎn)短于保溫罩和電暖器,?三瓣坩堝開(kāi)裂的關(guān)鍵原因來(lái)自應(yīng)時(shí)坩堝。
1.由于熔融硅的相對(duì)密度高于固態(tài)硅,,在整個(gè)制冷過(guò)程中,,底鍋材料會(huì)使應(yīng)時(shí)坩堝開(kāi)裂,而應(yīng)時(shí)坩堝迎合了三瓣坩堝,。當(dāng)應(yīng)時(shí)坩堝開(kāi)裂產(chǎn)生的地應(yīng)力超過(guò)三瓣坩堝所承受的地應(yīng)力時(shí),,三瓣坩堝就會(huì)開(kāi)裂,這也是為什么三瓣坩堝在火鍋底料剩余過(guò)多的情況下會(huì)開(kāi)裂的原因,。
2.如果加熱時(shí)間過(guò)長(zhǎng),,方解石坩堝質(zhì)量不合格,原料ph值不超過(guò)規(guī)定值,,就會(huì)造成漏硅,、滲硅。熔融硅滲透到三瓣坩堝之間的縫隙中,,中間冷卻后,,會(huì)損壞三瓣坩堝,另一種是使三瓣坩堝相互粘連,。爐子清理的時(shí)候,,分開(kāi)了就壞了。
3.在整個(gè)加熱過(guò)程中,,只有三瓣坩堝的熱源來(lái)自?xún)蓚€(gè)層面,,一個(gè)是電加熱器的輻射源,另一個(gè)是來(lái)自應(yīng)時(shí)坩堝的傳輸,,導(dǎo)致三瓣坩堝遇到不均勻的熱量,,可能會(huì)導(dǎo)致三瓣坩堝在加熱過(guò)程中在某些方向膨脹,在另一些方向塌陷,,從而導(dǎo)致其破裂,。