石墨熱場的作用有哪些
石墨熱場的作用:
跟著社會經(jīng)濟(jì)的開展,許多單晶硅制造商都精于石墨熱場的使用,原因有二:
該領(lǐng)域的組成部分,,如加熱器,三瓣坩堝,,石墨支架和熱屏蔽,是由石墨在生產(chǎn)過程中,,經(jīng)常會遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象,。那么石墨設(shè)備損壞的原因有哪些呢?應(yīng)該選擇什么方法來延伸石墨設(shè)備的壽數(shù),?石墨設(shè)備的損壞首要是人為和蛻變造成的。只需加強(qiáng)管理,,強(qiáng)化員工的防備認(rèn)識,,就可以把丟失降到低點。這兒首要討論的是退化,。我們先來了解一下石墨的相關(guān)特性,,
1.耐高溫。石墨熔點高,,真空下3850度,,低壓下2200度。與一般資料不同的是,,當(dāng)溫度升高時,,石墨不僅沒有軟化,反而強(qiáng)度添加,,2500度時抗拉強(qiáng)度翻倍
2.特殊抗熱震性,。石墨的熱膨脹是各向異性的,所以微膨脹系數(shù)不大,。在溫度驟變的情況下,,石墨的體積變化不大。再加上其優(yōu)異的導(dǎo)熱功用,,石墨的抗熱震性十分優(yōu)異,。如上所述,石墨部件應(yīng)該能夠在高溫下長時間安穩(wěn)工作,。
一般情況下,,花瓣坩堝與保溫罩、加熱器等其他石墨設(shè)備相比,,材質(zhì)相同,,生產(chǎn)廠家相同,工作環(huán)境相同。為什么使用壽數(shù)比保溫罩和取暖器短許多,?三瓣坩堝開裂的首要原因來自應(yīng)時坩堝,。1.由于熔融硅的密度高于固體硅的密度,在冷卻過程中,,坩堝的底部資料會使應(yīng)時坩堝決裂,,而應(yīng)時坩堝則附著在三瓣坩堝上。當(dāng)應(yīng)時坩堝劈裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三瓣坩堝受到的應(yīng)力時,,三瓣坩堝就會開裂,,這也是坩堝剩余的底部資料會使三瓣坩堝決裂的原因。2.如果加熱時間過長,,應(yīng)時坩堝質(zhì)量不夠,,質(zhì)料pH值不符合要求,都會導(dǎo)致漏硅,、滲硅,。熔融硅進(jìn)入三瓣坩堝之間的縫隙冷卻下來后,會損壞三瓣坩堝,,二是使三瓣坩堝相互粘連,,在清爐時或許分別導(dǎo)致開裂。3.在加熱過程中,,只有三瓣坩堝的熱源來自兩個方面,,一是加熱器的輻射,二是來自應(yīng)時坩堝的傳導(dǎo),,導(dǎo)致三瓣坩堝受熱不均勻,,受熱時在某些方向膨脹,在另一些方向收縮,,從而導(dǎo)致三瓣坩堝開裂,。
正面和石墨氈保溫作用好,厚度到達(dá)100mm,,有效保證了徑向梯度溫度或許較小的情況,。
熱量長的原因是石墨坩堝厚度到達(dá)250mm,可以扎樣品,,所以上中下保溫筒的口徑會滿足大,,有滿足的縱向散熱功用。眾所周知,,石墨坩堝操作方法存在的問題會導(dǎo)致石墨坩堝操作時間的削減,,從而添加生產(chǎn)廠家自身的本錢。

