石墨熱場(chǎng)常見問題原因分析有什么?
熱場(chǎng)的組成部分如加熱器,、三瓣堝,、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成,。在生產(chǎn)過程中,,經(jīng)常能碰到加熱器材損壞的現(xiàn)象,那么石墨器材損壞的原因是什么,,應(yīng)該采納什么樣的辦法來延伸石墨器材的壽命呢,?石墨器材的損壞,首要有人為和劣化兩個(gè)方面的原因,。人為方面只要加強(qiáng)管理,,強(qiáng)化職工防范意識(shí),就可以將損失降到最低點(diǎn),。這兒首要討論劣化,。首要我們來了解石墨的有關(guān)特性,1.耐高溫性,,石墨的熔點(diǎn)極高,,在真空為3850度,在低壓下提高,,提高溫度為2200度,,與一般資料不同,當(dāng)溫度升高時(shí)石墨不但不軟化,,強(qiáng)度反而增高,,在2500度時(shí),石墨的抗拉強(qiáng)度反而增加一倍,。 2.特別的抗熱震性,,石墨的熱脹大性具有各向異性,因此微觀脹大系數(shù)不大,,在溫度突變的情況下,,石墨的體積變化也不大,再加上其良好的導(dǎo)熱功用,,因此石墨的抗熱震性良好,。 諸上兩點(diǎn)所述,,石墨件應(yīng)該可以長期的在高溫下穩(wěn)定作業(yè)。
隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,,許多單晶硅生產(chǎn)廠家在石墨熱場(chǎng)的使用都是比較熟練的,,原因是有兩點(diǎn):第一、石墨氈保溫效果好,,厚度到達(dá)100毫米,,有用的保證了徑向梯度溫度可能小的條件,第二,、熱長達(dá)的原因可所以石墨坩堝的厚度到達(dá)250毫米,,扎樣可所以上中下保溫桶的口徑也會(huì)足夠大,有充分的縱向的散熱功用,。眾所周知石墨坩堝使用方法上的存在的問題就會(huì)導(dǎo)致石墨坩堝使用時(shí)刻減少,,然后也給生產(chǎn)商自己增加了成本。
在通常情況下,,瓣堝與其他石墨器材如保溫罩,、加熱器比較,都是相同的資料,、同一個(gè)廠家,、相同的作業(yè)環(huán)境,為什么使用壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于保溫罩和加熱器呢,? 三瓣堝的開裂首要原因來自于石英坩堝,。
1.由于熔硅的密度要大于固體硅,這樣在冷卻過程中,,鍋底料會(huì)撐破石英坩堝,,而石英坩堝是貼合于三瓣堝的,當(dāng)石英坩堝破裂而產(chǎn)生的應(yīng)力大于三瓣堝接受的應(yīng)力時(shí),,三瓣堝就會(huì)開裂,,這就是為什堝底料剩余過多會(huì)撐破三瓣堝的原因。
石墨卡瓣
2.加熱時(shí)刻過長,、石英坩堝質(zhì)量不過關(guān),、原料酸堿度未到達(dá)要求,會(huì)導(dǎo)致漏硅和滲硅,,熔硅進(jìn)入三瓣堝之間的縫隙之間冷卻后一是撐壞三瓣堝,,二是使三瓣堝相互粘接,在清爐時(shí),,使其別離有可能造成開裂,。
3.在加熱過程中唯有三瓣堝的熱源來自兩個(gè)方面,一是加熱器的輻射,,二是來自于石英坩堝的傳導(dǎo),,這就導(dǎo)致三瓣堝受熱不勻,加熱時(shí)沿某些方向脹大,,沿另一些方向縮短,,然后導(dǎo)致三瓣堝開裂。

