石墨熱場之石墨器件損壞的原因是什么,?
2023年10月30日
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石墨器件
首先我們來了解石墨的有關特性,1.耐高溫性,,石墨的熔點極高,在真空為3850度,,在低壓下升華,,升華溫度為2200度,,與一般材料不同,當溫度升高時石墨不但不軟化,,強度反而增高,在2500度時,,石墨的抗拉強度反而增加一倍,。2.特別的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,,因此微觀膨脹系數不大,,在溫度突變的情況下,石墨的體積改變也不大,,再加上其良好的導熱功能,,因此石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述,,石墨件應該可以長期的在高溫下穩(wěn)定工作
現在單晶硅廠家使用的石墨熱場都是比較成功的,,一是因為石墨氈保溫,總厚度達到100MM以上,,確保了徑向溫度梯度盡可能小的條件,,二是因為熱場大,使用的坩堝一般都是在250MM以上,,這樣保溫罩,、保溫蓋的口徑也大了,有充沛的縱向散熱功能,,確保了晶體的縱向溫度梯度足夠大的條件,,一起加強托碗底部的保溫作用,確保了熔體中的縱向溫度梯度比較大的條件,,這種熱場成晶率高,,有利單晶從頭到尾進行無位錯生長,不用進行過多的調整,,差異在成品率的凹凸和節(jié)能的作用不一樣,,然而這些指標往往又和設備的優(yōu)秀成度以及管理水平等綜合要素相關聯,從熱場的結構上講,,有的加強了徑向保溫,,采有碳碳復合材料來下降能耗等。
眾所周知,,熱場的組成部分如加熱器,、三瓣堝、石墨托,、熱屏等均由石墨加工而成,。在生產過程中,常常能碰到加熱器材損壞的現象,那么石墨器材損壞的原因是什么,,應該采取什么樣的措施來延伸石墨器材的壽命呢,?石墨器材的損壞,主要有人為和劣化兩個方面的原因,。人為方面只要加強管理,,強化職工防備認識,就可以將損失降到最低點,。
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