一,、工作的分配，為生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品奠定基礎(chǔ),。

二,、職位的職責(zé),，如煅燒石墨零件的制備、石墨零件的清洗,、石墨零件的干燥和煅燒,。

三、工藝原理,，即經(jīng)過高溫煅燒去除石墨加工過程中的揮發(fā)性物質(zhì),，避免在硅芯的還原和拉伸過程中雜質(zhì)污染多晶硅。

四,、工藝指標(biāo)

1,、真空泵低真空至30格柵（1x10-3檔）。

2,、分散泵高真空至90格（1x 10-3檔）,。

3、烘烤爐高壓啟動后,，升壓20分鐘,，每次0.5V。

4,、煅燒爐溫度至1550℃,。

五、操作方法

1,、沸騰冷卻水閥,。

2、打開真空泵,。

3,、閉式分散泵制動刀、預(yù)熱分散泵,。

4,、當(dāng)?shù)驼婵者_到30格（1 x 10-3檔）時，打開真空閥并封閉低真空閥,。

5,、打開高真空閥，高-90（1x10-3檔）,。

6,、打開高壓開關(guān)并在20分鐘后增加電壓。當(dāng)真空度為80-90度時,，壓力增加到8(X5),，爐溫為1550℃，恒溫2-3小時,。

7,、緩慢中止冷卻,，通常10分鐘，中止高壓電源,，中止分散泵,，封閉真空閥，中止?fàn)t子,，封閉冷卻水閥,。

8、撤除爐子后,，戴上口罩和高純度手套,，取出石墨片，用潔凈的塑料袋密封,。

9,、急停：先停真空泵，再切斷電源,，最終切斷水,。