煅燒石墨加工的操作規(guī)程：
一,、作業(yè)分配
提供高純度的石墨卡瓣和石墨基座,，為生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)太陽能級(jí)多晶硅奠定基礎(chǔ),。
二、職位的責(zé)任
1,、煅燒石墨零件的制備
2,、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4,、石墨零件的煅燒
三,、流程原理
石墨加工中揮發(fā)性物質(zhì)經(jīng)過高溫煅燒除去，以避免雜質(zhì)污染多晶硅在還原和拉伸硅芯,。
四,、工藝目標(biāo)
1,、真空泵低真空至30格柵(1x 10-3齒輪)
2、分散泵高真空到90格柵(1x 10-3齒輪)
3,、焙燒爐高壓?jiǎn)?dòng)后20分鐘升壓,，每次0.5V。
4,、煅燒爐溫度至1550℃
五,、泊車及緊迫泊車程序及操作方法
1、沸騰冷卻水閥
2,、翻開真空泵
3,、閉式分散泵制動(dòng)刀、預(yù)熱分散泵
4,、當(dāng)?shù)驼婵者_(dá)到30格柵(1x 10-3齒輪)時(shí),，翻開真空閥，封閉低真空閥,。
5、翻開高真空閥,，高到90格柵(1x 10-3齒輪)
6,、翻開高壓開關(guān)，20分鐘后升高電壓,。當(dāng)真空度等于80-90格時(shí),，壓力增加到8（x5），爐溫為1550℃,，恒溫2-3小時(shí),。
7、停止：緩慢冷卻,，通常10分鐘,，停止高壓電源，停止分散泵,，封閉真空閥,，停止?fàn)t子，封閉冷卻水閥,。
8,、拆爐：拆爐后，戴好口罩和高純手套,，將石墨件拆下,，用干凈的塑料袋密封。
9,、緊迫泊車：先停真空泵,，然后停電,，最終停水。
六,、石墨加工常見事端的剖析與處理
（1）停水：立即封閉真空泵閥門,，然后封閉電源。
（2）停電：封閉真空泵閥門,，等候石墨爐和分散泵溫度降至室溫,，然后封閉電源，最終封閉循環(huán)水閥門,。
（3）不能抽真空：停爐查看密封件的密封狀況,。
七 連鎖、報(bào)警
水壓,、溫度,、真空、電壓和電流
八,、設(shè)備清單
循環(huán)水體系,、真空體系、分散泵,、石墨煅燒爐
九,、石墨加工工藝流程
石墨清洗→裝爐→抽真空→開爐→升溫→恒溫→降溫