半導體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具應選用什么樣的材料呢?
2021年01月27日
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石墨材料
(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具,。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管,、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié),圖為部分燒結(jié)模具實例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時,還選用石墨舟(見圖2-4),。
(2)各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管,、硅整流管,、可控硅管座的燒結(jié),電容器絕緣子燒結(jié),,厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié),,超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等,,圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結(jié)模具,。
半導體工業(yè)用石墨模具資料的選擇
半導體工業(yè)對所用石墨資料要求其純度越高越好,特別是直接與半導體資料接觸的石墨器材
如坩塌,、燒結(jié)用石墨模具等,,雜質(zhì)含量多會污染半導體資料,因此不光對所用石墨原資料的純度要嚴加操控,,并且還要經(jīng)高溫石墨化處理,,使其灰分降到最低程度。
半導體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細,顆粒度細的石墨不光容易達到加工精度并且高溫強度高,、損耗小,,特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。因為半導體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模)都需要承受反復加熱和冷卻過程,,為了提高石墨器材的運用壽命,要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的尺度穩(wěn)定性和耐熱沖擊功能,。為了滿足上述各項要求,,目前我國出產(chǎn)了一系列適用于半導體工業(yè)所運用的石墨資料,其部分商標和功能列于表
燒結(jié)用石墨模具
因為高純石墨具有耐高溫,、純度高,、高溫下尺度穩(wěn)定、耐熱沖擊功能好等特色,,所以在半導體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具,。
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