如何延長石墨熱場器件的壽命呢,?
2023年10月30日
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石墨熱場器件
熱場便是熱體系。在機(jī)械中一般指單晶爐熱場,,便是單晶爐中的熱體系,。單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶資料熔化,用直拉法成長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備,。石墨熱場簡單的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系,。最常見的是18寸的石墨熱場。
眾所周知,,熱場的組成部分如加熱器,、三瓣堝、石墨托,、熱屏等均由石墨加工而成,。在生產(chǎn)過程中,常常能碰到加熱器材損壞的現(xiàn)象,,那么石墨熱場器材損壞的原因是什么,應(yīng)該采取什么樣的措施來延長石墨熱場器材的壽數(shù)呢,?石墨熱場器材的損壞,,主要有人為和劣化兩個(gè)方面的原因。人為方面只要加強(qiáng)管理,,強(qiáng)化職工防備意識(shí),,就可以將丟失降到最低點(diǎn)。這兒主要討論劣化,。
首要我們來了解石墨的有關(guān)特性,,1.耐高溫性,石墨的熔點(diǎn)極高,,在真空為3850度,,在低壓下提高,提高溫度為2200度,,與一般資料不同,,當(dāng)溫度升高時(shí)石墨不但不軟化,強(qiáng)度反而增高,,在2500度時(shí),,石墨的抗拉強(qiáng)度反而增加一倍。
2.特別的抗熱震性,,石墨的熱膨脹性具有各向異性,,因此宏觀膨脹系數(shù)不大,,在溫度突變的情況下,石墨的體積改變也不大,,再加上其良好的導(dǎo)熱性能,,因此石墨的抗熱震性良好。
諸上兩點(diǎn)所述,,石墨熱場器材應(yīng)該能夠長期的在高溫下穩(wěn)定作業(yè),。
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