為什么石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用,?
直拉單晶爐的熱系統(tǒng),,也就是所謂的熱場,,是指為了熔化硅料,,并使單晶成長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個系統(tǒng)。
石墨熱場一般包括(石墨資料)壓環(huán),、保溫蓋,、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝),、坩堝托桿,、坩堝托盤、電極,、加熱器,、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,,且為了防止漏硅,,爐底、金屬電極,、托桿,、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套,。
21世紀(jì),,越來越多的用戶開始注意到石墨資料,石墨具有耐高溫,、導(dǎo)電,、導(dǎo)熱性杰出、潤滑性等主要特點(diǎn),,抗熱震性等在新能源引領(lǐng)未來的時代,,石墨熱場以及部件在單晶硅的制作中起著要害的載體作用。
在真空爐中石墨熱場是決議單晶硅好壞的決議要素,,通過對石墨熱場的了解,,決議熱場石墨組件的好壞的要素有很多,其間石墨原資料的挑選和加工工藝上非常要害
由于單晶爐石墨熱場大多是采用等靜壓石墨來加工,,關(guān)于石墨制品加工企業(yè)來說石墨資料要比加工工藝所占的比重大一些,,那么提高石墨熱場的利用率是石墨制品加工企業(yè)都要考慮的問題,因此在報(bào)價(jià)給看客戶報(bào)價(jià)的時分除了考慮石墨原資料理化目標(biāo),,更多的還要考慮石墨熱場的壽命
清爐是個技術(shù)活,,清爐不到位,將影響到單晶的正常成長,,輕者,,無法正常成長單晶,重者,,將會導(dǎo)致停爐,,大家在整理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn):
1、盡量將噴濺到石墨部件上的硅滴去除,劣化嚴(yán)峻的石墨件要向主任陳述及時更換,。
2,、用刷子和吸塵器整理各種石墨件,一定要注意整理管道的重要性,。
3,、石墨件要輕拿輕放,防止石墨件受損,。
4,、整理潔凈的石墨件,應(yīng)放在潔凈的不銹鋼推車上,,防止二次污染,。

