石墨舟皿去垢前的檢查工作：

石墨舟在使用過程中接近100次時需要操作人員及時檢查鍍膜情況,，出現(xiàn)鍍膜異常,，需要進行清洗確認,。

硅片在石墨舟內正常鍍膜顏色為藍色,，片內出現(xiàn)非藍色,、多種顏色或片與片間顏色差異較大,，都為鍍膜異常,，需要工藝確認異常原因,。

由工藝人員對舟的鍍膜情況進行分析后,，確定石墨舟是否需要清洗以及卡點是否需要更換,，生產(chǎn)將需清洗的舟交由設備人員清洗。

石墨舟確定需要清洗后,，由設備,、生產(chǎn)、工藝三方對石墨舟進行檢查。做好以上檢查后,，接著就是去垢的方法：

1,、打開酸槽排水閥，待廢酸排盡,，用水槍對酸槽進行沖洗,。

2、關上閥門,，將石墨舟放進酸槽中,，打開進水閥門，往酸槽里放入純水直到水能夠淹沒石墨舟為止,，關閉水閥,。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機的窗戶關好,，然后開始清洗（要在酸中浸泡6個小時左右）,。清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈,，如果到時間還未洗干凈,，再繼續(xù)清洗，直到干凈為止,。

3,、清洗干凈之后，放入水槽,，用水槍沖洗后關上排水閥,，放水，以水沒過舟為準,，漂洗一般需2個小時,。

4、清洗完畢后,，將石墨舟從水槽中取出,，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。

5,、將石墨舟抬入專用烘箱,，關上烘箱門鎖緊；打開電源開關—風機開關—升溫開關—報警開關,；溫控表設定溫度80度,。石墨舟在烘箱烘干6—8小時（經(jīng)過測試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無差別方可取出）。

6,、設定溫度20度,，一般降溫半個小時烘箱里的石墨舟達到常溫，可以取出。

7,、將石墨舟上的全部螺母扭緊并檢查石墨舟全部的陶瓷件,，需要更換工藝點的石墨舟，取出后需要入維修間專用貨架等待維修,。以上就是處理石墨舟皿表面的方法,。