石墨舟裝片房：用于太陽(yáng)能職業(yè)與PECVD承載車配套,、裝取硅片,、配制中效及高效過濾器，確保吹出的空氣到達(dá)凈化要求,。
石墨舟作業(yè)原理：
　　空氣經(jīng)過高效過濾后,，阻尼層均壓,，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片作業(yè)區(qū)，從而確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)到達(dá)工藝要求的潔凈度,，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片,。
石墨舟主要特點(diǎn)：
　　1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位,；
　　2,、選用不銹鋼制作，整機(jī)結(jié)構(gòu)鞏固牢靠,；
　　3,、選用GK系列高效空氣過濾器3只；
　　4,、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度,；
　　5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB,。
　　6,、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)到達(dá)工藝要求的潔凈度100級(jí)。