1.新石墨舟在第一次運(yùn)用前建議運(yùn)用去離子水+10%（體積比）的氫氟酸進(jìn)行清洗約3~5小時(shí),；再用去離子水進(jìn)行漂洗8~12小時(shí)；直到承認(rèn)舟體沒有酸性成分,，可在漂洗后用PH試紙測(cè)驗(yàn)用過的水或洗過的舟，以承認(rèn)清洗成果,。然后依照要求進(jìn)行烘干,。
      2.運(yùn)用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在運(yùn)用100-150次左右需要對(duì)其表面的氮化硅進(jìn)行清洗。建議運(yùn)用濃度15-25%的氫氟酸溶液,，分三輪次來清洗,，每次4-5小時(shí)，并在浸泡清洗的過程中進(jìn)行周期性氮?dú)夤呐?，加半小時(shí)左右的清洗,；留意：鼓泡不建議直接運(yùn)用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時(shí)左右,，并承認(rèn)舟現(xiàn)已徹底清洗干凈,，請(qǐng)?jiān)谇逑赐戤吅蟛榭粗鄣谋砻妗⑹c(diǎn)和舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的剩余,。然后依照要求進(jìn)行烘干,。
清洗留意事項(xiàng)：
    A）由于HF酸歸于強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)并有必定的揮發(fā)性，對(duì)操作人員有必定的危險(xiǎn)性,。因此清洗崗位操作人員必須做好安全防護(hù),，并進(jìn)行專人管理。
    B）建議在清洗時(shí)將舟拆開后只對(duì)石墨部位進(jìn)行清洗,，這樣能將各個(gè)接觸部位清洗的更徹底,。目前國內(nèi)許多廠家選用整體清洗，雖然便利,，但由于HF酸對(duì)陶瓷部件有必定的腐蝕性,，整體清洗會(huì)縮短相應(yīng)部件的運(yùn)用壽命。