將新石墨舟及運用超越三年的舊石墨舟飽滿后進行PECVD表面的表層的鍍膜。新石墨舟表層平整度好,，石墨舟片導電性一致,，塑料膜分子式能夠均勻地堆積在單晶硅片表層，片間均勻性更高品質(zhì),。
       新石墨舟飽滿后在堆積時仍有一部分等離子體在石墨舟上邊堆積,，運行次數(shù)小于三十次時，隨著著運行次數(shù)的進步,，石墨舟上邊堆積的等離子體下降,，片間均勻性越佳。運行次數(shù)超出三十次后,，隨著著運用次數(shù)的進步,，石墨舟片內(nèi)壁與單晶硅片碰觸邊際處塑料膜變厚，電場反而強勁,，形成許多的低溫等離子體堆積,，易出現(xiàn)不一樣水準的邊際發(fā)白情況，導致片間均勻性數(shù)次下降,。