高純石墨舟裝片房：用以太陽能熱水器制作行業(yè)與PECVD承重車配套設(shè)備,、裝取硅片,、配置中效及高效過濾器，保證吹出來的氣體超過清潔規(guī)定,。
高純石墨舟原理：
      氣體根據(jù)高效率過慮后,，減振層均壓，使清潔的氣體氣旋豎直單邊送進(jìn)裝片作業(yè)區(qū),，從而保證了作業(yè)中居民區(qū)超過加工工藝規(guī)定的潔凈度等級(jí),，實(shí)際操作作業(yè)人員在清潔的自然環(huán)境中往高純石墨舟上用硅片。
高純石墨舟要害特性：
      1,、能精確的使高純石墨舟承重裝片車精準(zhǔn)定位,；
      2、選用不銹鋼板出產(chǎn)制作,，裸機(jī)構(gòu)造牢固靠譜,；
      3、選用GK系列產(chǎn)品高效率空氣過濾網(wǎng)3只,；
      4,、PECVD承重車在里邊可傾斜16度或轉(zhuǎn)動(dòng)190度；
      5,、清潔離心風(fēng)機(jī)噪聲低于6040db,。
      6、保證了作業(yè)中居民區(qū)超過加工工藝規(guī)定的潔凈度等級(jí)150級(jí),。

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