石墨以其良好的化學(xué)和物理性能逐漸成為制造許多產(chǎn)品的材料,，我國的石墨舟工業(yè)也日趨成熟,，成為各個領(lǐng)域不可替代的產(chǎn)品。 石墨舟的預(yù)熱和預(yù)處理方法有哪些,？

一.石墨盒預(yù)處理（飽和）

1,、工藝完成后，石墨舟經(jīng)技術(shù)人員確認(rèn)后,，方可投入其他生產(chǎn),。

2、推薦的預(yù)處理（飽和）正常時間為200-240分鐘,。

3,、為了更好的延長石墨舟的使用壽命，建議不要在空舟狀態(tài)下進(jìn)行預(yù)處理，最好安裝假芯片或廢芯片,。      

4,、再次檢查空石墨箱，確保完好,，然后放入爐管開始預(yù)處理,。 其他工藝與正常生產(chǎn)工藝沒有區(qū)別。

5. 需要注意的是,，在“沉積”過程中,，該過程需要一個小時，然后再進(jìn)行其他步驟,。

二.預(yù)熱

1,、將需要預(yù)熱的舟皿放入閑置的爐管中，然后用手打開真空泵的閥門,。 此爐管將不進(jìn)行處理,。

2、溫馨提示：預(yù)熱時不要將硅片放入石墨盒中,。

3,、干燥后的石墨箱通過生產(chǎn)、工藝,、設(shè)備進(jìn)行檢查,。 如果沒有發(fā)現(xiàn)損壞，則將石墨舟一起預(yù)熱,。