石墨舟除銹前的檢查工作:

石墨舟使用近100次時，操作人員需要及時檢查涂層情況,，出現(xiàn)涂層異常,，需要清洗確認(rèn),。

硅片石墨舟內(nèi)，正常鍍膜顏色為藍(lán)色,，晶片內(nèi)有非藍(lán)色,、多種顏色或晶片間色差大，均為異常鍍膜,，需通過工藝確認(rèn)異常原因,。

在分析了晶舟的涂層情況后，工藝師將確定石墨晶舟是否需要清洗,，以及是否需要更換卡點,。生產(chǎn)時，要清洗的船艇會交給設(shè)備人員進(jìn)行清洗,。

在確定石墨舟需要清洗后,，設(shè)備、生產(chǎn)和技術(shù)將檢查石墨舟,。做了以上檢查后,，接下來就是縮放的方法:

1.將石墨舟吊入專用烘箱中，關(guān)閉烘箱門并鎖好；打開電源開關(guān)-風(fēng)扇開關(guān)-加熱開關(guān)-報警開關(guān),；恒溫器設(shè)定溫度為80度,。石墨舟在烘箱中干燥6-8小時(經(jīng)檢測，石墨舟與使用前的石墨舟無異,，方可取出),。

2.清洗后放入水槽，用水槍沖洗,，關(guān)閉排水閥,，排水，以水沒過船為準(zhǔn),。沖洗通常需要2個小時。

3.清洗后,，將石墨舟從水箱中取出,，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。

4.將溫度設(shè)置為20度,。一般爐內(nèi)石墨舟冷卻半小時達(dá)到常溫即可取出,。

5.擰緊石墨舟上的所有螺母，并檢查石墨舟的所有陶瓷部件,。工藝點的石墨舟需要更換,。取出后需要進(jìn)入維修間的專用架子進(jìn)行維修。以上是石墨舟表面的處理方法,。  

6.打開酸罐的排水閥,。廢酸排出后，用水槍沖洗酸罐,。

7.關(guān)閉閥門,，將石墨舟放入酸罐中，打開進(jìn)水閥,，向酸罐中放入純水,，直至水淹沒石墨舟，關(guān)閉水閥,。然后在酸罐中加入HF酸(4瓶),，關(guān)閉清洗機(jī)的窗口，然后開始清洗(在酸中浸泡6小時左右),。清洗時戴防酸堿手套,，將石墨舟從酸浴中取出，看是否清洗干凈,，如果沒有及時清洗干凈,，繼續(xù)清洗，直到清洗干凈。