石墨舟清洗前的準(zhǔn)備工作:

(1)在分析了艇的涂層狀況后，技術(shù)專家將確定石墨艇是否需要清洗,，以及是否需要更換卡點(diǎn),。生產(chǎn)時(shí)，要清洗的船艇會(huì)交給設(shè)備人員進(jìn)行清洗,。

(2 )/ kloc-13/boat中硅片正常鍍膜顏色為藍(lán)色,，晶圓內(nèi)有非藍(lán)色、多種顏色或晶圓間色差大,，均為異常鍍膜,，需通過工藝確認(rèn)異常原因。  
(3)在確定石墨 boat需要清洗后,，設(shè)備,、生產(chǎn)和技術(shù)將檢查石墨 boat。2.1.5 石墨 boat損壞后,，生產(chǎn)人員會(huì)將舟內(nèi)的硅片全部取出,，用CDA(壓縮空氣)檢查石墨 boat內(nèi)的碎片。

(3) 石墨當(dāng)該艇使用近100次時(shí),，操作者需要及時(shí)檢查涂層情況,。如果涂層出現(xiàn)異常，需要進(jìn)行清潔和確認(rèn),。