操作人員應(yīng)戴口罩和PVC手套,。石墨坩堝應(yīng)放置在墊有橡膠墊的臺(tái)車上,。石墨坩堝內(nèi)如有掉落的氮化硅粉塵,，應(yīng)及時(shí)用壓縮空氣吹出，防止進(jìn)入熔融硅,，影響結(jié)晶質(zhì)量,。
     將柔性石墨板放置在裝載小車的中部（運(yùn)用直推小車），以保證柔性石墨板放置在運(yùn)輸小車上處于平衡狀況,。將坩堝放在柔性石墨板上（保證柔性石墨板不晃動(dòng)）,，使柔性石墨板的四個(gè)邊際與坩堝的四個(gè)邊際之間的間隔基本相同，必要時(shí)調(diào)整坩堝的位置,。在坩堝周圍安裝柔性石墨板,，將螺栓和螺釘孔對(duì)準(zhǔn)柔性石墨板，用手悄悄擰緊螺母，調(diào)查柔性石墨板周圍和坩堝周圍的間隙,，移動(dòng)柔性石墨板,，以保證坩堝置于中心。查看保溫籠是否正常,，底部四角與爐腔下邊際基本在同一平面上,，無(wú)傾斜、凹凸現(xiàn)象,。柔性石墨板的四個(gè)角應(yīng)與爐腔之間的間隔共同,。保證下?tīng)t膛處于下限。
    用真空吸塵器清潔爐膛,。請(qǐng)勿在高溫下操作,，以免燙壞人體或污染柔性石墨板。查看坩堝裝載和石墨支撐板的狀況,。承認(rèn)無(wú)異常后,，試裝/卸叉車，吊起裝好的坩堝支撐板,，注意坩堝平衡,，將坩堝支撐在兩叉臂中心。升高叉臂的上限,，小心地駛?cè)雰蓚€(gè)導(dǎo)軌之間的下?tīng)t腔,，緩慢下降坩堝，并緩慢地將其放在DS塊上,。用直尺測(cè)量DS塊與柔性石墨板四個(gè)邊際之間的間隔為4±0.5cm,。保證石墨支撐板在中心，并將坩堝放在DS塊上,。在此過(guò)程中,，請(qǐng)注意叉臂底部不會(huì)壓過(guò)頂部柔性石墨板。將坩堝放在DS塊上,，然后緩慢地卸下叉車,。用清潔紙和異丙醇清潔上下?tīng)t腔法蘭段，然后在下?tīng)t腔密封零位均勻涂改一薄層高溫真空潤(rùn)滑脂,。