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真空爐的安全使用是安全生產(chǎn)的重要組成部分,。除實(shí)驗(yàn)外,,建議不要靠近高溫爐管。使用時(shí)請(qǐng)注意以下幾點(diǎn):
真空爐的使用注意事項(xiàng):
1.測(cè)試期間請(qǐng)節(jié)約使用純凈水,。一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或異?,F(xiàn)象,應(yīng)盡快通知相關(guān)技術(shù)人員,,防止事故發(fā)生,。
2.當(dāng)系統(tǒng)壓力突然升高,即漏氣時(shí),,應(yīng)立即關(guān)閉分子泵電源,,關(guān)閉大閥。然后立即冷卻,。
3.如果升溫過程中發(fā)生報(bào)警,,可以先切斷報(bào)警,再進(jìn)行處理,。處理后打開報(bào)警開關(guān),。
4.使用真空爐時(shí),當(dāng)機(jī)械泵和分子泵同時(shí)運(yùn)行時(shí),,切記不要關(guān)閉電磁閥開關(guān),,以免損壞分子泵。
5,、突然停電,,恢復(fù)電源后,應(yīng)先關(guān)閉電磁閥開關(guān),。啟動(dòng)機(jī)械泵后,,運(yùn)行3-5分鐘,打開電磁閥開關(guān),,然后按照操作步驟進(jìn)行操作,。
6.真空爐運(yùn)行期間,,檢查循環(huán)水流量,尤其是分子泵循環(huán)水的溫度,。
7.在加熱過程中調(diào)節(jié)加熱電流時(shí),,應(yīng)注意調(diào)磁電流表的數(shù)值不能超過固定的最大值,以免調(diào)磁過載損壞,。
8,、實(shí)驗(yàn)工作完成后,應(yīng)關(guān)閉專用氣體,,保持N2流動(dòng),。真空爐管要保持待機(jī)溫度,其他電源要仔細(xì)檢查,,看是否關(guān)閉,。如果沒有,應(yīng)該立即關(guān)閉它們,。
9.使用管式電爐時(shí),,避免吸入電爐或處理槽內(nèi)的各種氣體,以免中毒,。
10.不用時(shí),,將長(zhǎng)短推桿前端朝上放在爐內(nèi),以免污染,。
11.連接芯片進(jìn)出口的舟支架時(shí),,盡量不要接觸管式爐的管口,以免污染管子,。