真空系統(tǒng)工作時,，先啟動機械泵,、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前閥和維持泵閥,，對擴散泵內進行抽真空,。當真空度達到系統(tǒng)某設定值時，羅茨泵啟動,，同時旁路閥打開,，前閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時,，高閥打開,，旁路閥關閉,，前閥打開。此時對真空室抽高真空,，達到工藝要求的真空度以后,，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后,，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻,，完成整個工藝過程。