真空爐溫度均勻性的測量過程

1.準(zhǔn)備工作

測量熱電偶和溫控?zé)犭娕紤?yīng)按GB/ J351 —1996《中華人民共和國國家計量鑒定規(guī)程》的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測試,，合格后方可測量爐溫均勻性,。從爐體上取下測溫孔蓋板，依次放上9個測試合格的熱電偶的密封墊片和橡膠墊片,，從法蘭孔引入爐腔,，按圖1所示位置依次固定在爐門處的支撐架上。支撐架的尺寸就是有效加熱尺寸,。小心地將支撐框架移動到爐腔中,，將其放置在爐膛上,，并調(diào)整其位置以與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔,，依次放上密封墊片，在橡膠墊片上涂上真空油脂,，擰緊壓緊螺栓,，安裝法蘭。按照操作程序依次手動啟動真空機(jī)械泵和真空羅茨泵,，然后停止30分鐘,，直到工作真空度達(dá)到2 Pa，觀察真空表的讀數(shù),，看壓力上升率是否在正常的0,。5pa/h，如果正常,，繼續(xù)測量爐溫均勻性,。如果不正常，重新調(diào)整緊固螺栓,，重新測量壓力上升率,。直到正常，我們才能繼續(xù)測量爐溫均勻性,。

2.確定過程

根據(jù)工藝要求,，測量溫度點為650℃、850℃和1000℃,，溫升曲線設(shè)置在FP21溫度控制儀上,。將熱電偶控制在設(shè)定溫度120分鐘后，開始測量每個熱電偶的值,。每隔5分鐘讀一次,，連續(xù)讀3次。如果每個點的溫度都在要求溫度的5℃以內(nèi),，則該溫度點的測量結(jié)束,；否則，保持等溫,，直到溫度均勻或時間達(dá)到3h(工藝設(shè)定的保溫時間),，記錄各點溫度。調(diào)節(jié)FP21儀表,，將溫度從650℃升至850℃,，保持120分鐘，在650℃時重復(fù)測量步驟,。

溫度也從850℃升至1100℃,，保溫120分鐘,，重復(fù)650℃的測溫步驟。以上數(shù)據(jù)分別填寫在記錄單上,，測量完成后,，按正常的空爐降溫步驟降溫。

3.恢復(fù)設(shè)備

打開爐門,，拉出測量支架,，拆下固定熱電偶的導(dǎo)線，取下法蘭,，裝上原蓋板,，按正常使用測試升壓率，按操作程序依次手動啟動真空機(jī)械泵和真空羅茨泵,，停機(jī)30分鐘,，直至工作真空度達(dá)到2Pa。觀察真空表的讀數(shù),，看壓力上升率是否在正常值0,。5pa/h，如果合格,，繼續(xù),，設(shè)備可以正常使用。否則,，繼續(xù),。從溫度測量法蘭上拆下測量熱電偶，并小心地將其弄直,，以防止熱電偶斷裂或損壞,。