真空熱處理爐是真空技術(shù)和爐腔內(nèi)熱處理的混合體,，用于在接近真空或部分真空的狀態(tài)下進(jìn)行熱處理,。根據(jù)真空爐的要求，真空狀態(tài)可分為低,、中,、高、超高真空系統(tǒng),。目前,，大多數(shù)真空熱處理爐的工作真空度為1.33 ~ 1.33× 10 ˉ Pa。

1.高真空系統(tǒng)
高真空系統(tǒng)適用于真空度為6.6×10 ~ 1.333×10ˊpa的真空熱處理爐,，如真空退火爐,、真空釬焊爐等。它通常由三級(jí)真空泵單元組成,。主泵通常是油擴(kuò)散泵和離子泵,，初級(jí)泵多為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥機(jī)械泵。  

2.低真空系統(tǒng)
低真空系統(tǒng)適用于真空度為2 ~ 1333 Pa的真空熱處理爐,，如預(yù)抽低真空井式爐,。大多數(shù)油封旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵是主泵,。

3.中真空系統(tǒng)中的真空系統(tǒng)適用于真空度為3X10~~1.333Pa的真空熱處理爐，真空熱處理爐廣泛采用真空系統(tǒng),，通常由兩級(jí)真空泵機(jī)組組成,。主泵多采用旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵，主泵采用機(jī)械增壓泵或油增壓泵,。