直拉法(CZ法)是將原料多晶硅塊放入應(yīng)時(shí)坩堝中，在單晶爐中加熱熔化,，然后將直徑只有12mm的棒狀籽晶(稱為籽晶)浸入熔體中,。在合適的溫度下，熔體中的硅原子會沿著固液界面上籽晶的硅原子排列結(jié)構(gòu)形成規(guī)則晶體,，成為單晶,。當(dāng)籽晶緩慢旋轉(zhuǎn)并向上提拉時(shí)，熔體中的硅原子會繼續(xù)在前面形成的單晶上結(jié)晶,，繼續(xù)其規(guī)則的原子排列結(jié)構(gòu),。如果整個(gè)結(jié)晶環(huán)境穩(wěn)定，可以反復(fù)形成晶體,，最終形成原子排列整齊的圓柱形硅單晶,，即硅單晶錠。當(dāng)結(jié)晶加速時(shí),，晶體的直徑會變粗,，提高上升速度可以使直徑變小，提高溫度可以抑制結(jié)晶速度,。相反,，如果結(jié)晶變慢，直徑變小,，可以通過降低拉制速度和冷卻來控制,。在拉晶開始時(shí)，拉出一定長度,、直徑為3 ~ 5 mm的窄頸,，以消除晶體位錯(cuò)。這個(gè)過程叫做拉晶,。然后將單晶直徑放大到工藝要求,，進(jìn)入等徑階段,，直到大部分熔硅結(jié)晶成單晶錠，只留下少量邊角料,。停爐后,，取出單晶棒，工序結(jié)束,。