直拉法單晶硅生長工藝中,，對于熱場的拆,、裝，均為純?nèi)斯げ僮?，現(xiàn)有的單晶爐熱場安裝方式由人工直接靠目視對中,，安裝熱場時從爐底開始向上安裝，下部安裝對中質(zhì)量直接影響上部熱場的對中,，影響單晶爐上部與導(dǎo)流筒的配合情況,，嚴重可能導(dǎo)致導(dǎo)流筒石墨組件損壞，不對中影響加熱器到熱場四周距離的一致性,，可能出現(xiàn)加熱器打火損壞和熱場溫度分布,，影響單晶的拉制。