使用區(qū)熔單晶爐進(jìn)行以下操作:

1.清潔和裝填熔爐；

2.抽真空,、充氣和預(yù)熱,；

3、熔化播種,；

4.長(zhǎng)出細(xì)脖子,；

5.擴(kuò)肩充氮；

6.轉(zhuǎn)動(dòng)肩部,，握住并松開(kāi)固定器,；

7.結(jié)束、停爐,、清爐,、裝爐:清理全爐內(nèi)壁和加熱線圈、反射鏡,、晶托,、上軸、下軸,，調(diào)整加熱線圈,、反射鏡與上軸、下軸的水平和對(duì)齊,；將多晶體材料夾具固定在多晶體材料尾部的缺口處,，然后安裝在上軸的端部，使多晶體材料居中,；將籽晶安裝在籽晶卡盤上,，然后安裝在下軸頂部；關(guān)閉每個(gè)爐門,，擰緊每個(gè)緊固螺栓,。