熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán),、隔熱罩,、上、中,、下隔熱罩,、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿,、坩堝托盤,、電極、加熱器,、導(dǎo)流管,、石墨螺栓。為了防止漏硅,，爐底,、金屬電極和支撐桿都有保護(hù)板和保護(hù)套。

  單晶爐石墨熱場_等靜壓石墨熱場_ 石墨熱場系統(tǒng)簡單來說就是用來拉單晶硅的完整的石墨加熱系統(tǒng),。常見的有18寸石墨熱場,。？單晶石墨熱場以22寸和24寸為主,。一種流行的設(shè)計方案是用石墨材料制作熱場隔熱件,。標(biāo)準(zhǔn)的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成，在靠近熱場中心的內(nèi)表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復(fù)合片,，以提高熱反射率,，防止高壓氣流的侵蝕。由于石墨材料本身的多孔性和滲透性,，不需要在隔熱材料層之間預(yù)留額外的空間,。石墨具有優(yōu)異的隔熱性能，其成本通常低于金屬屏,，并且非常易于使用,。就制造成本、可靠性和可維護(hù)性而言,，石墨絕緣軟氈優(yōu)于石墨絕緣硬氈,。通過生產(chǎn)實(shí)踐,，金屬隔熱罩往往不適合環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。

   焊料中的金屬物質(zhì)會沉積在金屬隔熱罩的表面,。由于隔熱罩的熱膨脹系數(shù)與附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同,，金屬隔熱罩會彎曲斷裂，降低金屬隔熱罩的隔熱性能,。在釬焊合金濺射的情況下,，金屬篩網(wǎng)容易損壞，導(dǎo)致篩網(wǎng)表面上的孔,，熱量將從這些孔傳遞,。

    當(dāng)然，使用較厚的金屬屏,，尤其是鉬合金屏,，會延長金屬熱場的使用壽命，但會增加可觀的成本,。比較好的解決辦法是用石墨材料做保溫部件。實(shí)踐證明,，雖然在釬焊過程中會有大量焊料沉積在石墨隔熱材料表面,，但熔化的焊料與石墨隔熱材料之間不會發(fā)生熔合。雖然有人可能會懷疑石墨材料比金屬材料更容易吸水,，水對釬焊過程有害,，但實(shí)踐證明，熱場的反復(fù)加熱和冷卻可以有效地消除石墨絕熱材料中的水,。